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光学镀膜基本原理光的干涉在薄膜光学中广泛应用。光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理。为了消除光学零件表面的反射损失,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜。促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展,利用高反射膜制造偏振反光膜、冷光膜和干涉滤光片等。抽真空主系统由两个低温泵组成。电子束蒸发、IAD沉积、光控、加热器控制、抽真空控制和自动过程控制的控制模块都在镀膜机的前面板上。PC壳渐变硬化加工

光学镀膜夹具绕公共轴旋转,同时绕其自身轴旋转。光控和晶控处于行星驱动机械装置的中部,驱动轴遮挡晶控。背面的大开口通向附加的高真空泵。基底加热系统由4个石英灯组成,真空室的两边各两个。薄膜沉积的传统方法一直是热蒸发,或采用电阻加热蒸发源或采用电子束蒸发源。薄膜特性主要决定于沉积原子的能量,传统蒸发中原子的能量仅约沉积导致电离化蒸汽的直接沉积并且给正在生长的膜增加活化能,离子源将束流从离子指向基底表面和正在生长的薄膜来改善传统电子束蒸发的薄膜特性。PC壳渐变硬化加工

光学镀膜薄膜可以是透明固体、液体或由两块玻璃所夹的气体薄层。入射光经薄膜上表面反射后得束光,折射光经薄膜下表面反射,又经上表面折射后得第二束光,这两束光在薄膜的同侧,由同一入射振动分出,是相干光,属分振幅干涉。若光源为扩展光源(面光源),则只能在两相干光束的特定重叠区才能观察到干涉,故属定域干涉。对两表面互相平行的平面薄膜,干涉条纹定域在无穷远,通常借助于会聚透镜在其像方焦面内观察;对楔形薄膜,干涉条纹定域在薄膜附近。PC壳渐变硬化加工